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半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 3 條

半導體製造業空氣污染管制及排放標準｜第 3 條｜大氣環境｜法規｜生效中

環境部｜v1.0

最後修訂: 2023-05-04

內容

本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：

相關法律條文 - 半導體製造業空氣污染管制及排放標準

• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 1 條（第 1 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 2 條（第 2 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 4 條（第 4 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 5 條（第 5 條）
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