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法規
生效中
半導體製造業空氣污染管制及排放標準-第 4 條
最後修訂:
2023-05-04
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條文摘要
半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放： 前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符...
📝 內容
半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放：
前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符合前項標準時，應檢具相關證明文件佐證具備同等處理效果或較優之控制條件，向直轄市、縣（市）主管機關申請替代認可。
前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符合前項標準時，應檢具相關證明文件佐證具備同等處理效果或較優之控制條件，向直轄市、縣（市）主管機關申請替代認可。