Air Pollution Control and Emissions Standards for the Semiconductor Industry|第 3 條|大氣環境|विनियम|लागू
環境部|v1.0
अंतिम संशोधन: 2023-05-04
本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原(物)料年用量小於下表所列者,該項物質不適用本標準之規定: