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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 3

Air Pollution Control and Emissions Standards for the Semiconductor Industry｜第 3 條｜大氣環境｜Peraturan｜Berlaku

環境部｜v1.0

Terakhir Diubah: 2023-05-04

Isi

本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：

Peraturan Terkait - Air Pollution Control and Emissions Standards for the Semiconductor Industry

• 廢棄物焚化爐戴奧辛管制及排放標準 - Article 2（第 2 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 6（第 6 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 1（第 1 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 2（第 2 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 4（第 4 條）
• 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 5（第 5 條）