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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - Article 3

Air Pollution Control and Emissions Standards for the Semiconductor Industry｜第 3 條｜大氣環境｜법규｜시행 중

環境部｜v1.0

최종 개정: 2023-05-04

내용

本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：

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